GFA430VN

仕様

一般名：　均温熱処理装置

メーカー名：　株式会社サーモ理工　Thermo RIKO Co., Ltd.

型番：　GFA430VN

装置概要：　優れた均温特性を持つ管状炉。　炉長の約７割が均一な温度になるため、大きな試料や複数の試料を同時に処理できる。

　最高到達温度　1000℃

　常用使用温度　900℃

　最大昇温速度　1000℃まで30分

　炉内寸法　Φ41×340㎜

　均温容積　約Φ36×200㎜

　最高到達真空度　5×10^-4 Pa

　用途例：

              シリコンウエハー、セラミックス、圧電材料等の熱処理

              加熱中電気抵抗測定

              CVD装置

              カーボンナノチューブの作成

              粉体試料の加熱

              大型生産炉の加熱条件確認

              鉄鋼材、金属材料の焼鈍

              昇温中試料への紫外光照射

              単結晶の生成